فایل ورد قابل ویرایش
دانلود پروژه تكنولوژي سيستم هاي ميكرو الكترومكانيكي(MEMS)
MEMS يك تكنولوژي است،كه قادر به ساخت دسته اي از ساختارها ،ديوايس ها وسيستم هاي مكانيكي كوچك شده است.اين تكنولوژي داراي تعدادي مزيت ها نسبت به تكنولوژي IC ها دارد
1- كاهش هزينه در ساخت
2- ثبات ديوايس به ديوايس از تكنولوژي ليتوگرافي واچينگ
3- پيشرفت نقش كلي آن ها در مقياس پايين كه به كاهش وزن واندازه منجر مي شود
سيليسيوم يك ماده مناسب براي ساخت ديوايس هاي MEMS است.زيرا اين ماده داراي خواص فيزيكي و مكانيكي خوب براي ماشين كاري دارد.همچنين Si ارزان قيمت و به وفور در معادن يافت مي شود.در سال 1992 خواص مكانيكي MEMS توسطPetersen انجام شده است.مشخصات مفيد اين ديوايس ها باعث شده است،كه MEMS يك تكنولوژي پيروز در تعدادي حوزه هاي كاربردي شامل شتاب سنج ها، سنسور هاي فشار،ميكرو اپتيك و غيره باشد.[1]
RF MEMS نسبتا جديد است،اما يك هيجان زياد به خاطر افزايش نقش وكاهش هزينه ساخت ايجاد كرده است.تجارت مدرن وبه طور ويژه ارتباطات نظامي،كشتيراني وخطوط اطلاعات براي اين كاربرد ها طراحي شده اند.براي سيستم هاي ارتباطي ،در كاربرد هاي تجاري ونظامي ،يك حركت پيوسته براي كوچك تر شدن وجود دارد.
نظرات شما عزیزان: